EUV Accelerator, được đặt tại khu phức hợp Albany NanoTech Complex ở New York, là cơ sở nghiên cứu và phát triển (R&D) đầu tiên của chương trình CHIPS for America. Đây là một phần trong đạo luật CHIPS và Khoa học, được chính quyền Tổng thống Joe Biden ban hành năm 2022, với mục tiêu khuyến khích đưa sản xuất bán dẫn trở lại Mỹ.
Bên trong một hệ thống quang khắc EUV. Ảnh: ASML
Theo thông báo cuối tuần qua của thượng nghị sĩ Chuck Schumer, phòng thí nghiệm sẽ có máy móc sản xuất chip tiên tiến nhất, cho phép các nhà nghiên cứu trong ngành công nghiệp bán dẫn hợp tác với các đối tác đào tạo đại học.
“Khi bắt tay thực hiện các nghiên cứu cấp cao tại Mỹ, chúng ta sẽ có thể tạo ra những chip tiên tiến nhất thế giới và đảm bảo cho quân đội có lợi thế”, Schumer nói với Fortune. “Tất nhiên, nó cũng đảm bảo nền kinh tế và doanh nghiệp Mỹ có lợi thế về bán dẫn tiên tiến”.
Trước đó, chính phủ Mỹ đánh giá EUV là một Công Nghệ quan trọng trong việc sản xuất chip tiên tiến và cần làm chủ Công Nghệ này. Washington cũng cho rằng việc tiếp cận, nghiên cứu và phát triển EUV là cần thiết để mở rộng vị thế dẫn đầu của Mỹ, giảm thời gian và chi phí cho việc tạo mẫu, cũng như xây dựng và duy trì hệ sinh thái lực lượng lao động bán dẫn.
Khi đi vào hoạt động, EUV Accelerator dự kiến tập trung phát triển EUV khẩu độ số cao tiên tiến cũng như nghiên cứu các Công Nghệ khác dựa trên EUV. Dự kiến, trung tâm cung cấp quyền truy cập vào EUV NA tiêu chuẩn vào năm sau và EUV High-NA vào năm 2026 cho các thành viên của Trung tâm Công nghệ Bán dẫn Quốc gia Mỹ (NTSC) và tổ chức Natcast.
“Với trung tâm nghiên cứu EUV đầu tiên này, CHIPS for America đang cho phép NSTC quyền truy cập vào nghiên cứu và công cụ tiên tiến”, bà Gina Raimondo, Bộ trưởng Thương mại Mỹ, cho biết. “Sự ra mắt của trung tâm đánh dấu cột mốc quan trọng trong việc đảm bảo Mỹ vẫn là nhà lãnh đạo toàn cầu về đổi mới ở lĩnh vực bán dẫn”.
Mỹ hiện tập trung mạnh mẽ cho lĩnh vực bán dẫn. Hồi tháng 2, chính quyền Biden công bố khoản tài trợ cho hãng chip GlobalFoundries nhằm thúc đẩy mở rộng sản xuất ở phía bắc Albany và Vermont. Vào tháng 4, Mỹ tiếp tục công bố gói 6,1 tỷ USD cho Micron để sản xuất chip nhớ tiên tiến gần Syracuse, New York) và Boise, Idaho.
Quang khắc là quá trình in sơ đồ mạch lên bề mặt cảm quang của tấm silicon bằng cách chiếu tia sáng về phía tấm nền silicon (wafer) qua một đĩa thủy tinh được vẽ sẵn sơ đồ mạch. Mạch càng nhỏ càng cần những đèn chiếu tia sáng có bước sóng ngắn hơn, trong đó, tia siêu cực tím (EUV) là bước phát triển hiện đại nhất hiện nay.
Những năm qua, ASML của Hà Lan được coi là “nút thắt cổ chai” trong sản xuất bán dẫn khi gần như là nhà cung cấp duy nhất về máy quang khắc, gồm máy sử dụng Công Nghệ in thạch bản nhúng DUV và hệ thống sử dụng tia siêu cực tím EUV. Sản phẩm đóng vai trò trung tâm trong cuộc cạnh tranh địa chính trị giữa Mỹ và Trung Quốc, khi Washington đang tìm mọi cách ngăn Bắc Kinh tiếp cận những hệ thống này. Hiện cỗ máy tối tân nhất EUV High-NA được ASML bán với giá 380 triệu USD, hồi đầu năm đã chuyển cho Intel chiếc đầu tiên và chiếc thứ hai cho “khách hàng không xác định”.
Bảo Lâm (theo Fortune, NIST)
- TSMC mua ‘siêu máy quang khắc’ 380 triệu USD của ASML
- ASML giao cỗ máy sản xuất chip giá 380 triệu USD thứ hai
- Mỹ tiếp tục gây sức ép lên ASML
- Cỗ máy 380 triệu USD của ASML đạt cột mốc ‘First Light’
- ASML lần đầu khoe cỗ máy quang khắc 380 triệu USD
